产品特点
需要将激光光源与线扫相机分置于被测物上下两侧
激光利用其良好的方向性穿透硅片,在相机端成像。比起传统 LED 具有波长更长穿透性更强、高亮度、高均匀性和边缘成像锐利的优势
产品尺寸紧凑,能满足更多应用场景
应用领域
原硅片、制绒片和刻蚀片的隐裂和崩边缺角缺陷检测
参数表
规格 | 参数 |
---|---|
可用于工艺段 | ☑原硅上料 ☑制绒后 ☑背膜后 ☑正膜后 ☑丝网上料 |
可用于硅片尺寸 | ☑182mm ☑210mm ☑230mm |
外触发功能 | ☐5V ☑12V ☐无 |
产品形态 | ☐凸形 ☑L形 ☐其他 |
输入电压 | DC 12V |
环境温度 | +10℃C~+35℃℃ |
存诸温度 | -20°C~+60°C |